PD-BVC類鑽膜機-DLC簡介及規格-Diamond Like Carbon

DLC技術於1970年代初期被發展出來，是Diamond Like Carbon (類鑽碳)的簡稱，本質是一種含氫的非晶質碳膜，特性接近於高硬度的鑽石。

DLC為類石墨鍵(Graphite-Like Bond or sp2)及類鑽石鍵(Diamond-Like Bond or sp3)所結合的非晶質碳薄膜..LC又稱為無晶鑽石(a-D)，另一種DLC內含大量氫，稱為氫化DLC(a-c:H)。

PD-BVC類鑽膜機
  • PECVD詳細報告
  • PD-BVC類鑽膜機規格表
    項目 新機台 原機台
    腔體大小 Φ1200x1000 mm Φ1000x800 mm
    有效鍍膜空間 Φ1000x800 mm Φ800x600 mm
    抽真空時間 20 min 1.5 hr
    破真空時間 0.2 min 5 min
    Batch 時間 2 hr 3.5 hr
    退鍍膜功能 兼具退膜功能 無此功能
    退膜所需時間 0.5 hr 6 hr(另購原廠專用退膜機)
    額外氮氣消耗 0 3大桶/每月
    腔體內擋板快拆 5 min 30 min
    鍍膜品質 電離子加速空間較大，鍍膜品質較佳 相對次之
    機台結構  易改裝，易維修 不易改裝，不易維修

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