- DLC簡介及規格
- DLC工作及鍍膜原理
- 不同鍍層比較
- 不同設備比較
PD-BVC類鑽膜機-DLC簡介及規格-Diamond Like Carbon
DLC技術於1970年代初期被發展出來,是Diamond Like Carbon (類鑽碳)的簡稱,本質是一種含氫的非晶質碳膜,特性接近於高硬度的鑽石。
DLC為類石墨鍵(Graphite-Like Bond or sp2)及類鑽石鍵(Diamond-Like Bond or sp3)所結合的非晶質碳薄膜..LC又稱為無晶鑽石(a-D),另一種DLC內含大量氫,稱為氫化DLC(a-c:H)。
- PECVD詳細報告
- PD-BVC類鑽膜機規格表
項目 新機台 原機台 腔體大小 Φ1200x1000 mm Φ1000x800 mm 有效鍍膜空間 Φ1000x800 mm Φ800x600 mm 抽真空時間 20 min 1.5 hr 破真空時間 0.2 min 5 min Batch 時間 2 hr 3.5 hr 退鍍膜功能 兼具退膜功能 無此功能 退膜所需時間 0.5 hr 6 hr(另購原廠專用退膜機) 額外氮氣消耗 0 3大桶/每月 腔體內擋板快拆 5 min 30 min 鍍膜品質 電離子加速空間較大,鍍膜品質較佳 相對次之 機台結構 易改裝,易維修 不易改裝,不易維修
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